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    • 专利摘要:
    本發明提供一種聚亞醯胺共聚物，具有下列化學式(I)或(II)。□□化學式(I)或(II)中，B為環狀脂肪族或芳香族，A為芳香族，R為氫或苯基，以及m、n為20~50。本發明另提供一種圖案化金屬氧化物層之製造方法。
    公开号:TW201305246A
    申请号:TW100126738
    申请日:2011-07-28
    公开日:2013-02-01
    发明作者:Jhy-Long Jeng；Jeng-Yu Tsai；Shur-Fen Liu；Chin-Ching Lin；Yu-Chun Chen；Wen-Ching Sun；Jinn-Shing King
    申请人:Ind Tech Res Inst；
    IPC主号:C08G73-00
    专利说明:
    聚亞醯胺共聚物及圖案化金屬氧化物層之製造方法
    本發明係有關於一種共聚物，特別是有關於一種聚亞醯胺共聚物及圖案化金屬氧化物層之製造方法。
    聚亞醯胺(polyimide,PI)由於具有優異的熱安定性及良好的機械、電氣及耐化學性質，已廣泛地應用於半導體及顯示器產業。由於聚亞醯胺屬於熱硬化型(thermosetting)的樹脂材料，因此，在經350℃以上高溫製程後，耐化性優異，非常難溶解於一般溶劑或胺類剝膜液(stripper)中，使其在應用上受限。因此，後來有發展所謂可溶型(soluble)聚亞醯胺，其藉由聚亞醯胺分子結構設計，使聚亞醯胺的分子間具有較大的自由體積(free volume)，進而增加溶解性，此類可溶型聚亞醯胺其在經300℃以下的製程仍能維持其溶解性；然而，在350℃以上高溫製程時此類聚亞醯胺分子鏈之間會堆疊(stacking)，趨向能量較低的狀態，進而縮小自由體積，導致溶解性急劇下降而不溶。
    金屬氧化物的圖案化製程一般都是使用剝除(lift-off)的方式形成金屬氧化物圖案，其中可溶型聚亞醯胺雖然廣泛應用於剝除製程中，但仍受限於製程溫度需在350℃以下，若在需要350℃以上高溫沈積(deposited)金屬氧化物的製程，一般可溶型聚亞醯胺就會有問題。因此，需要開發經350℃以上高溫製程後仍可溶解於有機溶劑的聚亞醯胺材料，其可當作金屬氧化物圖案化製程中耐350℃以上高溫的暫時性保護膜，最後，可以用溶劑將其溶解移除，形成金屬氧化物圖案。
    本發明之一實施例，提供一種聚亞醯胺共聚物，具有下列化學式(I)或(II)：

    其中B為環狀脂肪族或芳香族；A為芳香族；R為氫或苯基；以及m、n為20~50。
    本發明之一實施例，提供一種聚亞醯胺共聚物之製備方法，包括：混合一雙胺與一雙酐，以形成一聚亞醯胺前驅物；以及混合一苯胺與該聚亞醯胺前驅物，以形成一反應混合物，該反應混合物經由一亞醯胺化反應，以製備一聚亞醯胺共聚物。
    本發明之一實施例，提供一種圖案化金屬氧化物層之製造方法，包括下列步驟：提供一基板；形成一圖案化聚亞醯胺層於該基板上，其中該聚亞醯胺層係由上述聚亞醯胺共聚物之製備方法所製備；形成一金屬氧化物層於該基板與該圖案化聚亞醯胺層上；以及移除該圖案化聚亞醯胺層，以形成一圖案化金屬氧化物層。
    為讓本發明之上述目的、特徵及優點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：
    本發明之一實施例，提供一種聚亞醯胺共聚物，具有下列化學式(I)或(II)。

    化學式(I)或(II)中，B可為環狀脂肪族或芳香族，例如
    或。A可為芳香族，例如、
    。R可為氫或苯基。m、n可為20~50。
    本發明聚亞醯胺共聚物之末端具有一苯胺基。
    上述聚亞醯胺共聚物之重量平均分子量介於6,000~15,000或6,000~12,000。
    本發明之一實施例，提供一種聚亞醯胺共聚物之製備方法，包括下列步驟。首先，混合一雙胺與一雙酐，以形成一聚亞醯胺前驅物。接著，混合一苯胺與聚亞醯胺前驅物，以形成一反應混合物。上述反應混合物經由一亞醯胺化反應，以製備一聚亞醯胺共聚物。在一實施例中，於混合苯胺與聚亞醯胺前驅物反應3至8小時或4小時後，升溫至160℃至200℃或180℃進行亞醯胺化反應。
    上述雙胺例如為、
    上述雙酐例如為、

    上述苯胺於反應混合物中之莫耳百分比介於10~20%或15~20%。
    請參閱第1圖，說明本發明之一實施例，一種圖案化金屬氧化物層之製造方法，包括下列步驟。首先，提供一基板10。基板10的種類可包括矽基板、玻璃基板或陶瓷基板。之後，形成一圖案化聚亞醯胺層12於基板10上。聚亞醯胺層12由上述聚亞醯胺共聚物之製備方法所製備。在一實施例中，可藉由例如印刷(printing)製程形成圖案化聚亞醯胺層12於基板10上。接著，形成一金屬氧化物層14於基板10與圖案化聚亞醯胺層12上。金屬氧化物層14可包括氟摻雜氧化錫(fluorine-doped tin oxide,FTO)、氧化鋁或銦錫氧化物(indium tin oxide,ITO)。在一實施例中，可藉由沈積製程，例如濕式沈積製程，形成金屬氧化物層14於基板10與圖案化聚亞醯胺層12上。之後，移除圖案化聚亞醯胺層12，以形成一圖案化金屬氧化物層14’。在一實施例中，可將基板10置於一有機溶劑中，以移除(溶解)圖案化聚亞醯胺層12。上述有機溶劑可包括甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyrrolidone,NMP)、二甲基甲醯胺(N,N-dimethyl formamide,DMF)、γ-丁內酯(γ-butyrolactone,GBL)、二甲基亞碸(dimethyl sulfoxide,DMSO)、乙醇胺(ethanolamine)、鄰苯二酚(catechol)或其組合。在一實施例中，於形成金屬氧化物層14於基板10與圖案化聚亞醯胺層12上之前，更包括對圖案化聚亞醯胺層12進行例如硬烤之固化乾燥步驟。
    本發明所開發之聚亞醯胺共聚物(PI copolymer)可經由在製備過程中調整末端基(end-capped group)的添加量來控制分子量的大小，使其經過350℃以上高溫後仍具有對有機溶劑的溶解度。此外，亦可加入無機填充材(filler)調整聚亞醯胺共聚物的加工性。在一實施例中，無機填充材可以是氧化矽(fumed silica)。
    本發明所開發之聚亞醯胺共聚物其經350℃以上高溫製程後仍可溶解於有機溶劑，其可當作金屬氧化物圖案化製程中耐350℃以上高溫的暫時性保護膜，最後，可以用溶劑簡單將其溶解移除，形成金屬氧化物圖案。
    此暫時性保護膜具有以下特性：良好的熱安定性，良好的操作性，以及於金屬氧化物350℃以上高溫沈積製程後，仍可回溶於溶劑。此一暫時性保護膜以聚亞醯胺為主體，其於基材上可直接形成圖案且乾燥後經350℃以上高溫沈積金屬氧化物製程後，可用溶劑將基材上的暫時性保護膜溶解移除，形成金屬氧化物圖案。本發明所開發之暫時性保護膜提供了一種簡單、迅速且具競爭力的金屬氧化物圖案化製程。
    【實施例1】
    本發明聚亞醯胺之合成1
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入65.9448公克(180毫莫耳)之2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷(2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane；簡稱Bis-APAF)、82.1公克(200毫莫耳)之2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)酚基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane；簡稱BAPP)、79.4208公克(320毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)及24.816公克(80毫莫耳)之4,4'-二苯醚四酸酐(4,4'-oxydiphthalic anhydride；簡稱ODPA)，並加入384克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時後再加入3.7252克(40毫莫耳)之苯胺(aniline)，並於室溫下再攪拌4小時，加入76克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-1；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為9,200。
    【實施例2】
    本發明聚亞醯胺之合成2
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入62.2812公克(170毫莫耳)之2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷(2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane；簡稱Bis-APAF)、82.1公克(180毫莫耳)之2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)酚基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxyl)phenyl]propanl；簡稱BAPP)、79.4208公克(320毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)及24.816公克(80毫莫耳)之4,4'-二苯醚四酸酐(4,4'-oxydiphthalic anhydride；簡稱ODPA)，並加入384克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時後再加入5.5878克(60毫莫耳)之苯胺(aniline)，並於室溫下再攪拌4小時，加入76克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-2；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為8,350。
    【實施例3】
    本發明聚亞醯胺之合成3
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入58.6176公克(160毫莫耳)之2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷(2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane；簡稱Bis-APAF)、82.1公克(180毫莫耳)之2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)酚基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxyl)phenyl]propanl；簡稱BAPP)、79.4208公克(320毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)及24.816公克(80毫莫耳)之4,4'-二苯醚四酸酐(4,4'-oxydiphthalic anhydride；簡稱ODPA)，並加入384克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時後再加入7.4504克(80毫莫耳)之苯胺(aniline)，並於室溫下再攪拌4小時，加入76克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-3；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為7,400。
    【實施例4】
    本發明聚亞醯胺之合成4
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1000毫升之三頸圓底燒瓶，加入25.8655公克(170毫莫耳)之3,5-二氨基苯甲酸(3,5-diaminobenzoic acid；簡稱DABZ)、86.5公克(200毫莫耳)之2,2-雙[4-(3-胺基苯氧基)酚基]碸(2,2-bis[4-(3-aminophenoxyl)phenyl]sulfone；簡稱m-BAPS)、99.276公克(400毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(Bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)，並加入325克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時後再加入5.5878克(60毫莫耳)之苯胺(aniline)，並於室溫下再攪拌4小時，加入65克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-4；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為6,850。
    【實施例5】
    本發明聚亞醯胺之合成5
    本實施例合成方法同實施例2的方法，將105.6公克(400毫莫耳)之5-(2,5-二氧四氫呋喃)-3-甲基-3-環己烯-1,2-二碳酸酐(5-(2,5-dioxotetrahydrol)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarb oxylic anhydride；簡稱B-4400)取代二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐及4,4'-二苯醚四酸酐，其可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-5；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為7,100。
    【實施例6】
    本發明聚亞醯胺之合成6
    本實施例合成方法同實施例4的方法，將105.6公克(400毫莫耳)之5-(2,5-二氧四氫呋喃)-3-甲基-3-環己烯-1,2-二碳酸酐(5-(2,5dioxotetrahydrol)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarb oxylic anhydride；簡稱B-4400)取代二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐，其可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-6；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為6,550。
    【實施例7】
    本發明聚亞醯胺之合成7
    本實施例合成方法同實施例4的方法，將48.671公克(170毫莫耳)之6,6'-雙氨基-3,3'-甲叉基二苯甲酸(methylene bis(anthranilic acid)；簡稱MBAA)取代3,5-二氨基苯甲酸，其可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-7；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為6,620。
    【實施例8】
    本發明聚亞醯胺之合成8
    本實施例合成方法同實施例1的方法，將38.916公克(180毫莫耳)之3,3-二羥基聯苯胺(3,3-dihydroxybenzidine；簡稱HAB)取代2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷，其可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-8；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為10,200。
    【比較實施例1】
    習知聚亞醯胺之合成1
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入73.272公克(200毫莫耳)之2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷(2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane；簡稱Bis-APAF)、82.1公克(200毫莫耳)之2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)酚基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxyl)phenyl]propanl；簡稱BAPP)、79.4208公克(320毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)及24.816公克(80毫莫耳)之4,4'-二苯醚四酸酐(4,4'-oxydiphthalic anhydride；簡稱ODPA)，並加入605克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時，加入121克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-Cl；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為65,000。
    【比較實施例2】
    習知聚亞醯胺之合成2
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入69.6084公克(190毫莫耳)之2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷(2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane；簡稱Bis-APAF)、82.1公克(200毫莫耳)之2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)酚基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxyl)phenyl]propanl；簡稱BAPP)、79.4208公克(320毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)及24.816公克(80毫莫耳)之4,4'-二苯醚四酸酐(4,4'-oxydiphthalic anhydride；簡稱ODPA)，並加入384克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時後再加入1.8626克(20毫莫耳)之苯胺(aniline)，並於室溫下再攪拌4小時，加入76克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-C2；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為19,000。
    【比較實施例3】
    習知聚亞醯胺之合成3
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入54.954公克(150毫莫耳)之2,2-雙(3-胺基-4-羥基酚)六氟丙烷(2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane；簡稱Bis-APAF)、82.1公克(200毫莫耳)之2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)酚基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxyl)phenyl]propanl；簡稱BAPP)、79.4208公克(320毫莫耳)之二環[2,2,2]辛-7-烯-2,3,5,6-四酸二酐(bicyclo[2,2,2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride；簡稱B1317)及24.816公克(80毫莫耳)之4,4'-二苯醚四酸酐(4,4'-oxydiphthalic anhydride；簡稱ODPA)，並加入384克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時後再加入9.313克(100毫莫耳)之苯胺(aniline)，並於室溫下再攪拌4小時，加入76克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-C3；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為5,200。
    【比較實施例4】
    習知聚亞醯胺之合成4
    使用配備有一機械攪拌器與氮氣進口之1,000毫升之三頸圓底燒瓶，加入53.2公克(200毫莫耳)之二胺基-1-(4-胺基酚)-1,3,3-三甲基二氫茚(diamino-1-(4-aminophenyl)-1,3,3-trimethyl indane；簡稱DAPI)、64.444公克(200毫莫耳)之3,3',4,4'-二苯酮四酸二酐(3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride)，並加入470克之甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyyrolidone；NMP)。將上述溶液於0℃攪拌4小時，加入94克之二甲苯(xylene)後升溫至180℃攪拌4小時後冷卻可得到黏稠聚亞醯胺(PI)溶液PI-C4；經由凝膠滲透色層分析(gel permeation chromatography,GPC)測得平均分子重量為130,000。
    表1
    *聚亞醯胺薄膜於400℃烘烤30分鐘後再使用溶劑(二甲基亞碸/乙醇胺=3:7)於120℃進行溶解度測試(30分鐘)
    【實施例9】
    圖案化金屬氧化物層之製備1
    將實施例1中所合成之聚亞醯胺(PI)溶液PI-1印刷圖案在玻璃基板上，並以230℃進行乾燥30分鐘。聚亞醯胺(PI)厚度為7.3μm。再將氟摻雜氧化錫(fluorine-doped tin oxide,FTO)噴霧製備(沈積溫度400℃，時間5~10分鐘)在已形成聚亞醯胺(PI)圖案的玻璃基板上形成氟摻雜氧化錫(FTO)薄膜，如第2圖所示。最後，將玻璃基板浸泡於120℃的二甲基亞碸/乙醇胺(3:7)溶液中。玻璃基板上聚亞醯胺(PI)會溶解，連同沈積在聚亞醯胺(PI)表面的氟摻雜氧化錫(FTO)一併被移除，如第3圖所示。在玻璃基板上之(圖案化)氟摻雜氧化錫(FTO)薄膜厚度約240nm，其片電阻為32.3Ω/sq。
    【實施例10】
    圖案化金屬氧化物層之製備2
    本實施例製備方法同實施例9的方法。將實施例1中所合成之聚亞醯胺(PI)溶液PI-1印刷圖案在矽基板上，並以250℃進行乾燥30分鐘。聚亞醯胺(PI)厚度為15μm。再將氧化鋁噴霧製備(沈積溫度350℃，時間15分鐘)在已形成聚亞醯胺(PI)圖案的矽基板上形成氧化鋁薄膜，如第4圖所示。最後，將矽基板浸泡於120℃的二甲基亞碸/乙醇胺(3:7)溶液中。矽基板上聚亞醯胺(PI)會溶解，連同沈積在聚亞醯胺(PI)表面的氧化鋁一併被移除，如第5圖所示。在矽基板上之(圖案化)氧化鋁薄膜厚度約100nm。
    【比較實施例5】
    習知聚亞醯胺材料之剝除測試1
    本實施例測試方法同實施例9的方法。將比較實施例1中所合成之聚亞醯胺(PI)溶液PI-C1印刷圖案在玻璃基板上，並以230℃進行乾燥30分鐘。聚亞醯胺(PI)厚度為8.3μm。再將氟摻雜氧化錫(fluorine-doped tin oxide,FTO)噴霧製備(沈積溫度400℃，時間5~10分鐘)在已形成聚亞醯胺(PI)圖案的玻璃基板上形成氟摻雜氧化錫(FTO)薄膜。最後，將玻璃基板浸泡於120℃的二甲基亞碸/乙醇胺(3:7)溶液中，然，玻璃基板上聚亞醯胺(PI)無法完全溶解。
    【比較實施例6】
    習知聚亞醯胺材料之剝除測試2
    本實施例測試方法同實施例10的方法。將比較實施例1中所合成之聚亞醯胺(PI)溶液PI-C1印刷圖案在矽基板上，並以250℃進行乾燥30分鐘。聚亞醯胺(PI)厚度為18μm。再將氧化鋁噴霧製備(沈積溫度350℃，時間15分鐘)在已形成聚亞醯胺(PI)圖案的矽基板上形成氧化鋁薄膜。最後，將矽基板浸泡於120℃的二甲基亞碸/乙醇胺(3:7)溶液中，然，矽基板上聚亞醯胺(PI)無法完全溶解。
    雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此項技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
    10．．．基板
    12．．．圖案化聚亞醯胺層
    14．．．金屬氧化物層
    14’．．．圖案化金屬氧化物層
    第1圖係根據本發明之一實施例，一種圖案化金屬氧化物層之製造方法。
    第2圖係根據本發明之一實施例，將氟摻雜氧化錫(FTO)噴霧製備在聚亞醯胺(PI)圖案上之SEM圖。
    第3圖係根據本發明之一實施例，於剝除第2圖所述之聚亞醯胺(PI)圖案後，氟摻雜氧化錫(FTO)圖案之SEM圖。
    第4圖係根據本發明之一實施例，將氧化鋁噴霧製備在聚亞醯胺(PI)圖案上之SEM圖。
    第5圖係根據本發明之一實施例，於剝除第4圖所述之聚亞醯胺(PI)圖案後，氧化鋁圖案之SEM圖。
    10．．．基板
    12．．．圖案化聚亞醯胺層
    14．．．金屬氧化物層
    14’．．．圖案化金屬氧化物層
    权利要求:
    Claims (19)
    [1] 一種聚亞醯胺共聚物，具有下列化學式(I)或(II)： 其中B為環狀脂肪族或芳香族；A為芳香族；R為氫或苯基；以及m、n為20~50。
    [2] 如申請專利範圍第1項所述之聚亞醯胺共聚物，其中B包括、
    [3] 如申請專利範圍第1項所述之聚亞醯胺共聚物，其中B包括或
    [4] 如申請專利範圍第1項所述之聚亞醯胺共聚物，其中A包括、
    [5] 如申請專利範圍第1項所述之聚亞醯胺共聚物，其中該聚亞醯胺共聚物之末端具有一苯胺基。
    [6] 如申請專利範圍第1項所述之聚亞醯胺共聚物，其中該聚亞醯胺共聚物之重量平均分子量介於6,000~15,000。
    [7] 如申請專利範圍第1項所述之聚亞醯胺共聚物，其中該聚亞醯胺共聚物之重量平均分子量介於6,000~12,000。
    [8] 一種聚亞醯胺共聚物之製備方法，包括：混合一雙胺與一雙酐，以形成一聚亞醯胺前驅物；以及混合一苯胺與該聚亞醯胺前驅物，以形成一反應混合物，該反應混合物經由一亞醯胺化反應，以製備一聚亞醯胺共聚物。
    [9] 如申請專利範圍第8項所述之聚亞醯胺共聚物之製備方法，其中該苯胺於該反應混合物中之莫耳百分比介於10~20%。
    [10] 如申請專利範圍第8項所述之聚亞醯胺共聚物之製備方法，其中該苯胺於該反應混合物中之莫耳百分比介於15~20%。
    [11] 一種圖案化金屬氧化物層之製造方法，包括下列步驟：提供一基板；形成一圖案化聚亞醯胺層於該基板上，其中該聚亞醯胺層係由申請專利範圍第8項所述之聚亞醯胺共聚物之製備方法所製備；形成一金屬氧化物層於該基板與該圖案化聚亞醯胺層上；以及移除該圖案化聚亞醯胺層，以形成一圖案化金屬氧化物層。
    [12] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，該聚亞醯胺共聚物之製備方法中該苯胺於該反應混合物中之莫耳百分比介於10~20%。
    [13] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，其中該基板包括矽、玻璃或陶瓷基板。
    [14] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，其中係藉由印刷製程形成該圖案化聚亞醯胺層於該基板上。
    [15] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，其中該金屬氧化物層包括氟摻雜氧化錫(fluorine-doped tin oxide,FTO)、氧化鋁或銦錫氧化物(indium tin oxide,ITO)。
    [16] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，其中係藉由沈積製程形成該金屬氧化物層於該基板與該圖案化聚亞醯胺層上。
    [17] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，其中係將該基板置於一有機溶劑中，以移除該圖案化聚亞醯胺層。
    [18] 如申請專利範圍第17項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，其中該有機溶劑包括甲基-2-吡咯啶(N-methyl-2-pyrrolidone,NMP)、二甲基甲醯胺(N,N-dimethyl formamide,DMF)、γ-丁內酯(γ-butyrolactone,GBL)、二甲基亞碸(dimethyl sulfoxide,DMSO)、乙醇胺(ethanolamine)、鄰苯二酚(catechol)或其組合。
    [19] 如申請專利範圍第11項所述之圖案化金屬氧化物層之製造方法，更包括於形成該金屬氧化物層於該基板與該圖案化聚亞醯胺層上之前，對該圖案化聚亞醯胺層進行硬烤。
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